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Analyse de dopants d'échantillons très fortement dopés par microscopie électronique à transmission avancée.

Défi technologique : Nano-caractérisation avancée (en savoir +)

Département : Département des Plateformes Technologiques (LETI)

Laboratoire : Autre laboratoire

Date de début : 01-10-2022

Localisation : Grenoble

Code CEA : SL-DRT-22-0855

Contact : nicolas.bernier@cea.fr

L'étudiant sera formé à l'état de l'art de la microscopie électronique à transmission. Nous combinerons l'holographie électronique, avec la déformation, la phase/structure et la cartographie chimique sur le même spécimen. Des techniques avancées de traitement des données seront développées afin de combiner les différentes cartes pour fournir des informations sur la concentration totale de dopants, la quantité de dopants sur les sites de substitution et les concentrations de dopants actifs. Ce travail fournira une méthodologie pour évaluer l'efficacité des différents processus qui sont utilisés pour le dopage dans la recherche CMOS avancée. Cela inclut les transistors FD-SOI 10 nm et plus petits qui sont au centre de la nouvelle loi européenne sur les puces et considérés comme stratégiques pour la souveraineté technologique européenne. Ce travail effectué dans le cadre du projet Aidas2 comportera également une visite de recherche de 3 mois à FZG Julich en Allemagne.

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